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磁翻板液位計

聯儀壓力變送器已突破歷史性三大問題

    用半導體硅集成電路工藝制備壓力變送器已有30多年歷史了,隨著市場需求其每年以20%的速度增長,競爭十分劇烈,但仍存在以下間題迫切需要解決,并應引起注意:
    (1)電阻非線性間題突出。力敏電阻依靠p-n結與襯底隔離,在p區側的耗盡層寬度與外加電壓有關,故電阻條的有效導電厚度隨外加電壓而變化,表現為非線性,并直接導致零點的電漂移。
    (2)零點電漂移。壓力變送器的特性指標除眾所周知的幾個之外,我們在上百次對國內外不同品種的壓力變送器進行測定時,均發現了零點電漂移現象,在國際上我們是領先觀察到并給予定義的。零點電漂移影響壓力變送器的測量精度,使靈敏度大大降低。
    (3)熱零點漂移與漏電問題。熱零點漂移是影響壓力變送器性能的重要指標,受到廣泛重視。國際上認為熱零點漂移僅取決于力敏電阻的不等性及其溫度非線性,但我們認為熱零點漂移還與力敏電阻的反向漏電有關,對該理論作出了重要補充,還指出多晶硅可以吸除襯底中的重金屬雜質,從而減小力敏電阻的反向漏電、改善熱零點漂移,提高變送器的性能。
    除動態響應特性、噪聲等指標外,在國際上我們首先發現并提出零點電漂移也應作為一個特性指標。
    衡量智能壓力變送器性能大致有下列七個指標:線性度、靈敏度、重復性、遲滯、分辨率、漂移、穩定性。漂移可分為溫漂、時漂、力學蟠變漂移以及電源的不穩定性。溫漂又分為熱零點和熱靈敏度漂移。雖然人們曾提到過電源不穩定性造成的漂移,但沒有明確提出過零點電漂移這個概念,也不把它當作一個可測定的技術指標。

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